Готовые ????????? ??????

Диплом  Модернизация лабораторной установки для исследования оптических свойств тонких пленок

Содержание:

СПИСОК ОПРЕДЕЛЕНИЙ И СОКРАЩЕНИЙ 8

ВВЕДЕНИЕ 9

1. ОБЗОР МЕТОДОВ ИЗМЕРЕНИЯ ФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ ПЛЕНОК 10
1.1. Оптические методы 11
1.2. Механические методы 17
1.3. Радиографические методы 17
1.4. Электрические методы 18
1.5. Отражение света от прозрачной пленки на непрозрачной подложке 19
1.6. Контроль толщины и оптических констант пленок методами спектральной интерферометрии 23

2. РАЗРАБОТКА И ОПИСАНИЕ ЛАБОРАТОРНОЙ УСТАНОВКИ 28
2.1. Разработка лабораторного стенда для исследования параметров тонких пленок 28
2.2. Описание лабораторной установки 32
3. Исследование параметров оптически прозрачных тонких пленок 41
3.1. Примеры полученных спектров 41
3.2. Перспективы 47

4. ОБЕСПЕЧЕНИЕ БЕЗОПАСНОСТИ ЖИЗНЕДЕЯТЕЛЬНОСТИ 51
4.1. Анализ опасных и вредных производственных факторов 51
4.2. Условия эксплуатации 53
ЗАКЛЮЧЕНИЕ 57
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ 58
ПРИЛОЖЕНИЕ А. СПЕЦИФИКАЦИЯ ИСТОЧНИКА ИЗЛУЧЕНИЯ 60
ПРИЛОЖЕНИЕ Б. ЗНАЧЕНИЯ ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ РАСПРОСТРАНЕННЫХ МАТЕРИАЛОВ 61
ПРИЛОЖЕНИЕ В. ВНУТРЕННИЙ ВИД БЛОКА ИСТОЧНИКА ИЗЛУЧЕНИЯ 62
ПРИЛОЖЕНИЕ Г. СПЕЦИФИКАЦИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ КОМПОНЕНТОВ БЛОКА ИСТОЧНИКА ИЗЛУЧЕНИЯ 63

Введение

В последние 50 лет заметно возрос интерес к техническому применению тонких пленок, что вызвало соответственно быстрое развитие оптики тонких пленок, то есть той области физической оптики, которая имеет дело главным образом с отражением, пропусканием и поглощением света в однослойных и многослойных системах пленок.
Что касается применений тонких пленок, то фактически не существует ни одной области техники, где бы так или иначе не использовались их свойства. Это относится и к производству оптических приборов (достаточно указать на просветляющие покрытия и многослойные интерференционные системы), и в гораздо большей степени к новым областям техники, таким как микроэлектроника (пленочные пассивные и активные элементы), вычислительная техника (сверхпроводящие и магнитные элементы) и так далее.
В большинстве случаев при анализе результатов оптических измерений на тонких пленках необходимо знать толщину пленки. Иногда, например, при получении многослойных покрытий, толщину необходимо контролировать в процессе напыления, в иных же случаях толщина пленки измеряется лишь после ее изготовления. Поскольку изучение оптических свойств тонких пленок имеет большое значение, большое развитие получили методы неразрушающего контроля данных параметров.
Целью данной работы было создание и последующая модернизация лабораторной установки для исследования оптических параметров тонких пленок методом спектральной интерферометрии. В задачи также входило сравнение результатов полученных при различных источниках излучения, коими являлись лампа накаливания и белый люминофорный светодиод.

К работе также прилагаются презентация и готовая речь выступления в качестве бонуса.