Готовые ????????? ??????

Диплом  Емкостный датчик давления

Содержание:

Содержание

Введение . . . . 6

1. Классификация датчиков . . . . 10

1.1 Омические датчики . . . . 11

1.2 Индуктивные датчики . . . . 13

1.3 Емкостные датчики . . . . 14

1.4 Применение емкостных преобразователей . . . . 17

2. Разработка конструкции высокотемпературного неохлаждаемого емкостного датчика давления . . . . 21

2.1 Анализ технического задания . . . . 21

2.2 Выбор конструкции высокотемпературного неохлаждаемого емкостного датчика давления . . . . 23

2.3 Расчет чувствительного элемента емкостного датчика давления . . . . 29

2.3.1 Математическая модель датчика . . . . 29

2.3.2 Расчет чувствительного элемента в виде мембраны с жестким центром . . . . 31

2.3.3 Расчет толщины мембраны с жестким центром при воздействии Pmax и Pном, и максимально допустимого прогиба мембраны . . . . 33

2.3.4 Расчет высоты термозависимой втулки . . . . 38

2.4 Расчет емкостей конденсаторов . . . . 38

2.4.1 Расчет емкости опорного конденсатора . . . . 38

2.4.2 Расчет емкости измерительного конденсатора . . . . 41

2.4.3 Расчет емкости термозависимого конденсатора . . . . 43

2.5 Вторичный преобразователь высокотемпературного неохлаждаемого емкостного датчика давления . . . . 45

2.5.1 Классификация структур вторичных преобразователей емкостного датчика . . . . 45

2.5.2 Структура вторичных преобразователей емкостного датчика с временным разделением сигналов . . . . 48

2.6 Конструкция разработанного высокотемпературного неохлаждаемого емкостного датчика давления . . . . 50

2.6.1 Описание конструкции разработанного датчика давления . . . . 50

2.6.2 Принцип действия высокотемпературного неохлаждаемого емкостного датчика давления . . . . 52

3. Технологический процесс напыления тонкопленочных структур емкостного датчика давления . . . . 54

3.1 Обоснование выбора материалов . . . . 54

3.1.1 Материалы чувствительного элемента . . . . 54

3.1.2 Материалы диэлектрика . . . . 55

3.1.3 Материалы для пленочных электродов конденсаторов . . . . 56

3.1.4 Материалы контактных соединений . . . . 57

3.1.5 Материалы гермопроходника . . . . 58

3.1.6 Выбор заливочных материалов . . . . 59

3.2 Технологический процесс напыления тонкопленочной структуры Al2O3-SiO2 . . . . 60

3.3 Установка для электронно-лучевого испарения . . . . 65

3.4 Технологический процесс напыления тонкопленочной структуры Cr-Ni . . . . 67

4. Технико-экономическое обоснование проектирования емкостного датчика давления . . . . 71

4.1 Расчет стоимости материалов и покупных комплектующих . . . . 72

4.2 Расчет основной заработной платы . . . . 74

4.3 Расчет дополнительной заработной платы . . . . 75

4.4 Расчет отчислений на социальные нужды . . . . 76

4.5 Расчет общепроизводственных и общехозяйственных расходов . . . . 76

5. Воздействие шумов на инженера при работе на компьютере в конструкторском отделе . . . . 79

Заключение . . . . 86

Список использованных источников . . . . 87

Приложение А. Графическая часть . . . . 89