Курсовая Жидкостное химическое травление

Предмет:	Разное.
Цена:	100 руб.
	Работа доступна сразу после оплаты.

Содержание:

1. Термодинамика травления.
2. Общие принципы кинетики травления.
3. Феноменологический механизм травления.
4. Травление SiO2.
5. Травление кремния.
6. Травление многослойных структур.
7. Травление алюминия.
8. Травители для алюминия.
9. Электрохимическое травление.
10. Другие характеристики травления.
Заключение.
Список литературы.
Введение.

Травление используется для селективной (химической) прорисовки диффузи-онных масок, формирования изолирующих или проводящих областей, в про-цессе которого вещество в области, подвергаемой травлению, химически пре-образуется в растворимое или летучее соединение. В литографии травление применяется в основном для формирования диффузионных масок в слое тер-мически окисленного кремния или для удаления материала через окна в ди-электрике при изготовлении металлических контактов. Металлическая разводка формируется путем селективного удаления промежутков (обращения изобра-жения); фотошаблоны также изготавливаются травлением металлических пле-нок. Задача инженера-технолога состоит в том, чтобы обеспечить перенос изо-бражения с резистной маски в подложку с минимальным отклонением размера (Е) и допуском (±Т) (см. рис. 1). Из рисунка видно, что суммарное изменение размера при литографии Е обусловлено искажением изображения в резистной маске (±0.1 мкм), уходом размера в резисте (±0.5 мкм) и уходом окончательно-го размера в процессе травления ±1.0 мкм с допуском в ±1.0 мкм.

Курсовая Жидкостное химическое травление

  Работа будет доступна сразу после оплаты!